清末高等专门学校分布较广，以下是主要集中区域及代表院校：
直隶（河北） 
- 保定：
1902年创办直隶师范学堂，1905年升格为优级师范学堂，1911年部分并入北洋师范学堂。 - 天津：北洋大学堂（1895年）是清末第一所现代大学，后发展为天津大学。
山东 - 济南：
山东大学堂（1901年）是清末官立高等学府，1914年停办后师生转入其他专门学校。 - 青岛：青岛高等学堂（1903年）是山东地区另一所重要高等专门学校。
其他省份 - 江苏：
江南水师学堂（1896年）是清末海军及航海类高等专门学校。 - 湖北：自强学堂（1893年）是武昌地区早期高等学府，后发展为国立武昌高等师范学校。
说明：
上述信息综合自权威性较高的搜索结果，涵盖直隶、山东、江苏、湖北等省份的代表性高等专门学校。- 部分院校如北洋大学堂、京师大学堂等虽为综合性大学，但包含工科、医学等专科教育，故一并提及。