根据复旦大学微纳加工与器件公共实验室2024年收费标准，实验室服务价格如下（元/小时或元/次）：
一、基础服务费用
1. 实验室使用和安全培训：50元/人/次
2. 进入洁净间：30元/次（含常规小型设备使用及耗材）
3. 设备工艺集中培训：300元/人/次
二、高端设备使用费
1. 紫外光刻（Karl Suss MA6）：600元/小时
2. 制版机（Heidelberg mPG 501）：600元/小时
3. 场发射电镜 + 能谱仪（Zeiss EVO10 + EDX）：800元/小时
4. 聚焦离子束显微镜（Auriga）：1200元/小时
5. 电子束蒸发镀膜（Kurt Lesker LAB18）：800元/小时
6. 磁控溅射（DE500）：1000元/小时
7. 原子层沉积（Sunale R-200）：30元/nm
8. 快速退火炉：400元/小时
9. 临界点干燥仪：200元/小时
10. 热蒸发镀膜（Kurt Lesker Nano36）：600元/小时
11. 台阶仪（Bruker DektakXT）：300元/小时
12. 引线压焊机（West bond）：200元/小时
13. 纳米压印（Entire3）：300元/小时
14. 探针台 / 4200参数测试仪：200元/小时
15. 感应耦合等离子刻蚀（Oxford ICP-RIE）：600元/小时
三、特殊说明
部分设备如制版机、场发射电镜等仅限物理系开放使用
贵重金属镀膜服务单独计费（如80元/10nm）
原子层沉积等少数设备需提前预约
注：以上价格可能随政策调整，建议通过复旦大学微纳加工与器件公共实验室官网或联系实验室工作人员获取最新报价。